随着电子技术的不断发展,洁净技术在电子制造业得到了方泛的应用。电子制造业的生产环境和电子产品的质量保持着密切的关系,所以人们对电子制造业的洁净室设计提出了更高的要求。我们只有在充分了解电子制造业的行业特性和相关要求后,才能设计出合理的洁净厂房。
电子制造业厂万级洁净室厂房特点∶
1.洁净度等级要求高,对静电要求极其严格,芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是电子制造行业洁净室的重要组成部分;
2.风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控;一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间,这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。
3.电子产品洁净室主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时对温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
A.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A);
B.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
C.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa;
D.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:
- 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和
- 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3
E.电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项大值:
- 保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量
- 根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量
- 向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量